当前位置:首页 » 行业新闻 » 国产平替 HT-110:高端传热流体的国产化突破
在半导体、精密制造等高端产业领域,Galden HT-110 作为经典的全氟聚醚传热流体,长期占据核心应用场景,其在温控精度、泄漏检测及环境兼容性上的优异表现,成为保障设备稳定运行的关键材料。然而,进口产品的高成本与供应链风险,促使国产替代成为行业刚需,嘉乐德推出的 YBS-110 凭借精准匹配的性能与显著的成本优势,实现了对 HT-110 的高效替代。
Galden HT-110 的核心价值集中在两大关键应用场景。其一,在干法蚀刻机腔体温控中,它通过稳定的热传导性能维持腔体内温度均衡,直接保障晶圆刻蚀的线宽精度,这对于先进制程芯片的良率至关重要。例如在 7nm 芯片制造过程中,HT-110 的温控作用可将线宽误差控制在 ±2nm 以内,避免因温度波动导致的电路短路或性能衰减。其二,其低表面张力特性使其能渗透至芯片封装的微小缝隙,用于检测封装过程中产生的微漏缺陷,在某电子大厂的封装检测线中,HT-110 可实现 1×10?? mbar?L/s 的检测精度,及时剔除存在泄漏风险的产品,保障终端设备的可靠性。此外,作为高稳定性传热介质,它还广泛应用于气相加热、精密仪器冷却等对介质性能要求严苛的场景。
嘉乐德 YBS-110 的出现,不仅复刻了 HT-110 的核心性能,更在环保性与经济性上实现突破。在核心参数方面,YBS-110 沸点达 135℃,完全适配干法蚀刻机的温控需求,同样能实现 ±2nm 的线宽精度控制;其表面张力低至 16 dyn/cm,渗透能力优于同类产品,微漏检测精度与 HT-110 持平。在环保指标上,该产品通过 REACH 认证,全球变暖潜能值(GWP)显著低于进口的 Galden HT-110,更符合全球低碳制造的发展趋势。最引人注目的是成本优势,YBS-110 的市场价格仅为 Galden HT-110 的 50%,大幅降低了企业的生产成本。
在极端环境适应性上,YBS-110 表现尤为突出。它专为高温高腐蚀环境设计,化学稳定性与 Galden HT-110 相当,可耐受强酸、强碱及强氧化剂的侵蚀。经过分子结构优化后,其在 200℃高温下长期使用不易分解,150℃环境中 24 小时挥发率低于 0.025%,远优于行业标准,完美匹配半导体行业对流体稳定性的严苛要求。其宽温域适应性覆盖 - 90℃至 250℃,在光刻机镜头冷却、晶圆测试平台温控等场景中可稳定传热,同时具备 0.1μm 级颗粒去除能力,适用于先进制程芯片的脱脂、脱焊剂清洗作业。
产能与合规性方面,嘉乐德已建成 1000 吨 / 年的全氟聚醚产线,保障了稳定的市场供应,产品通过欧盟 RoHS 认证,符合全球主流市场的环保标准。在新兴应用领域,YBS-110 适配 600kW 浸没式液冷机架,散热效率较传统风冷提升 80%,为数据中心、超级计算机等大功率设备的冷却提供了新方案。
从应用场景来看,YBS-110 的适配范围覆盖半导体、化学、制药、气相加热、变压器及超级计算机冷却、循环冷却等多个领域。作为惰性、介电性能优异的高性能传热流体,其沸点范围 55~270℃,可在高达 290℃的高温环境下使用,远超同类氟化传热流体。产品无色透明,密度 1.71g/cm3,运动粘度 0.7cSt,具备良好的传热效率与流动性;质量指标上,其纯度≥99.5%,水分≤0.005%,酸度<0.0001%,有效避免了流体降解或腐蚀导致的设备故障,保障了循环系统的长期稳定运行。
YBS-110 的成功研发与量产,不仅打破了高端传热流体的进口垄断,更以更优的性能、更低的成本和更完善的供应链,为国内高端制造业的发展提供了关键支撑。未来,随着国产材料技术的持续升级,这类高性价比的国产化替代产品将在更多领域实现突破,助力我国制造业向高质量发展转型。
版权所有 0769-81668390 | 备案号:粤ICP备18009114号-1 . 保留所有权利.